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日立SU-8010場發(fā)射電鏡SEM+EDX--現(xiàn)場交付
點擊次數(shù):159 更新時間:2025-08-12

                                                     日立SU-8010場發(fā)射電鏡SEM+EDX--現(xiàn)場交付


        在2025年8月北京芯片行業(yè)工廠內(nèi)部實驗室成功從我公司購買日立場發(fā)射電鏡SU-8010SEM+EDX  ,從現(xiàn)場交流技術和了解到客戶需求到簽訂合同交付


儀器現(xiàn)場只用了15個工作日時間,深圳心怡創(chuàng)科技效率的為客戶服務宗旨:以下是交付現(xiàn)場:速度效率就是為客戶省錢。


儀器配置如下:(日立SU-8010SEM+牛津EDX+電腦+操作軟件+工作站)


裝機地點:北京


客戶需求:芯片表面分析

日立SU-8010場發(fā)射電鏡SEM+EDX--現(xiàn)場交付

在公司葉工的裝機現(xiàn)場,儀器性能再次確認和樣品的分析,得到客戶很好的反饋和專業(yè)的給與。感謝客戶的認可。給出工程師的專業(yè)性得到很大的認可。

儀器參數(shù):

二次電子分辨率1.0nm(加速電壓15kV、WD=4mm)
1.3nm(加速電壓1kV、WD=1.5mm)
加速電壓0.1~30kV
觀測倍率20~8000,000(底片輸出)
60~2,000,000(顯示器輸出)
樣品臺
馬達驅動3軸馬達
5軸(選配)
行程X0~50mm
Y0~50mm
Z360°
T-5~70°
R1.5~30mm
zui大裝載尺寸100mm(zui大)
150mm(選配)
探頭
標配Lower高立體感圖像
Upper高分辨SE、BSE圖像
 
選配
STEM明場像、暗場像
YAG 探頭BSE圖像
半導體探頭BSE圖像
EBIC電子束感生電流圖像
EDS元素分析
反污染措施
冷指標配
物鏡光闌內(nèi)置自清潔功能
電子槍內(nèi)置加熱器
真空系統(tǒng)
離子泵3臺
分子泵1臺
機械泵1臺


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