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　　掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。
 

　　掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)的分析
 

　　在陶瓷的制備過程中，原始材料及其制品的顯微形貌、孔隙大小、晶界和團(tuán)聚程度等將決定其最后的性能。掃描電子顯微鏡可以清楚地反映和記錄這些微觀特征，是觀察分析樣品微觀結(jié)構(gòu)方便、易行的有效方法，樣品無需制備，只需直接放入樣品室內(nèi)即可放大觀察;
 

　　同時掃描電子顯微鏡可以實(shí)現(xiàn)試樣從低倍到高倍的定位分析，在樣品室中的試樣不僅可以沿三維空間移動，還能夠根據(jù)觀察需要進(jìn)行空間轉(zhuǎn)動，以利于使用者對感興趣的部位進(jìn)行連續(xù)、系統(tǒng)的觀察分析。
 

　　掃描電子顯微鏡拍出的圖像真實(shí)、清晰，并富有立體感，在新型陶瓷材料的三維顯微組織形態(tài)的觀察研究方面獲得了廣泛地應(yīng)用。
 

　　由于掃描電子顯微鏡可用多種物理信號對樣品進(jìn)行綜合分析，并具有可以直接觀察較大試樣、放大倍數(shù)范圍寬和景深大等特點(diǎn)，當(dāng)陶瓷材料處于不同的外部條件和化學(xué)環(huán)境時，掃描電子顯微鏡在其微觀結(jié)構(gòu)分析研究方面同樣顯示出極大的優(yōu)勢。
 

　　主要表現(xiàn)為：
 

　?、帕W(xué)加載下的微觀動態(tài) (裂紋擴(kuò)展)研究 ;
 

　?、萍訜釛l件下的晶體合成、氣化、聚合反應(yīng)等研究 ;
 

　?、蔷w生長機(jī)理、生長臺階、缺陷與位錯的研究;
 

　　⑷成分的非均勻性、殼芯結(jié)構(gòu)、包裹結(jié)構(gòu)的研究;
 

　　⑸晶粒相成分在化學(xué)環(huán)境下差異性的研究等。